泓格環(huán)境監(jiān)控解決方案在半導(dǎo)體制造廠無塵室的應(yīng)用

使用泓格的環(huán)境監(jiān)控模塊搭配WISE系列智能邊緣運算控制器，輕松將無塵室的漏液、溫度、濕度、門禁數(shù)據(jù)回傳中控中心進行遠程監(jiān)控，嚴格把關(guān)無塵室的環(huán)境狀況。

案例介紹

客戶為半導(dǎo)體制造業(yè)者，提供厚薄膜基板與客制化半導(dǎo)體微型模塊封裝開發(fā)與制造，希望能有一個完善的環(huán)境監(jiān)控解決方案，除了監(jiān)測無塵室的溫濕度與建置門禁系統(tǒng)做安全管控，更希望當漏液情況發(fā)生時，可在第一時間獲得通報，以避免漏液造成周遭機臺或設(shè)備的損失。以下將說明客戶如何透過泓格的環(huán)境監(jiān)控解決方案達到此目標。

泓格無塵室環(huán)境監(jiān)控解決方案

泓格環(huán)境監(jiān)控解決方案可分為三部分: 使用iSN-101 I/O模塊與CA-LLD-DC100X-L030漏液偵測線組成的iSN-101/S2/DIN漏液監(jiān)測模塊，監(jiān)測漏液情形; 使用DL-100TM485P溫濕度感測模塊，進行溫濕度數(shù)據(jù)的監(jiān)測; 使用tM-PD3R3數(shù)字輸入繼電器輸出模塊，做門禁安全的監(jiān)控。

使用以上三種泓格的環(huán)境監(jiān)控模塊搭配WISE-5231智能邊緣運算控制器，將現(xiàn)場的漏液、溫度、濕度與門禁信息傳回中控中心，進行遠程監(jiān)控，其說明與架構(gòu)如下:

iSN-101/S2/DIN漏液偵測模塊是由iSN-101 I/O模塊與CA-LLD-DC100X-L030漏液偵測線組成，iSN-101能將CA-LLD-DC100X-L030于布線區(qū)域內(nèi)偵測到的漏液數(shù)據(jù)透過Modbus RTU傳送至WISE-5231智能邊緣運算控制器。

DL-100TM485P溫濕度感測模塊可量測特定空間內(nèi)的溫度與濕度，并將這些數(shù)據(jù)透過Modbus RTU傳送至WISE-5231智能邊緣運算控制器，進行環(huán)境監(jiān)測。

tM-PD3R3數(shù)字輸入繼電器輸出模塊可將門禁刷卡機的數(shù)據(jù)透過Modbus RTU傳送至WISE-5231智能邊緣運算控制器，并由WISE-5231進行門禁管理。當刷卡成功時，WISE-5231會開啟門鎖，刷卡失敗時，WISE-5231則發(fā)送告警訊息給管理人員。

泓格WISE系列智能邊緣運算控制器可被廣泛的應(yīng)用于各種工業(yè)現(xiàn)場的邊緣邏輯控制與監(jiān)測，其內(nèi)建的IF-THEN-ELSE邏輯引擎可以穩(wěn)定高效地執(zhí)行自動化邏輯，并提供數(shù)學(xué)運算、排程和電子郵件警報消息發(fā)送功能。在此案例中，客戶使用WISE-5231將漏液、溫濕度、門禁資料透過Modbus TCP回傳中控中心，當異常狀況發(fā)生時則發(fā)送告警通知并啟動相關(guān)措施，進行環(huán)境監(jiān)控。

現(xiàn)場接線圖

結(jié)語

無塵室的應(yīng)用領(lǐng)域相當廣泛，除了本文提到的半導(dǎo)體生產(chǎn)之外，還包括生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等等，而泓格的環(huán)境監(jiān)控解決方案皆可應(yīng)用其中。

泓格科技長期耕耘環(huán)境監(jiān)控解決方案，通過各項環(huán)境數(shù)據(jù)采集模塊的建置與機臺設(shè)備聯(lián)網(wǎng)，提高整體的營運效率，幫助各大工廠成功轉(zhuǎn)型為智慧工廠。