泓格電流測量解決方案在UV曝光機設備監(jiān)測的應用

使用泓格DNM-831I-100V-50A電壓/電流衰減器、M-7017RMS-G 8通道True RMS輸入模塊以及PMC-5231電表集中器，測量UV曝光機的電力數(shù)據(jù)，提供現(xiàn)場人員作為機臺預知保養(yǎng)的參考指標。

案例介紹

近年來曝光制程快速發(fā)展，UV曝光機設備使用者除了產(chǎn)能、產(chǎn)速壓力不斷攀升外，設備老化后的維修費用與維修實時性已成為影響公司競爭力的關鍵因素。此案例說明泓格電流量測解決方案如何協(xié)助客戶克服機臺電流不一致的問題，完成機臺用電數(shù)據(jù)的收集與分析，進而達到預知保養(yǎng)的目的。

泓格電力測量解決方案

此案例中，管理人員可依據(jù)UV曝光機的電力類別，選擇以直流電或交流電測量電壓及電流。泓格DNM-831I-100V-50A作為電壓/電流衰減器，降低電壓及電流后傳輸至M-7017RMS-G 8通道True RMS輸入模塊，以Modbus RTU通訊協(xié)議傳輸至PMC-5231電表集中器，再通過Modbus TCP通訊協(xié)議，將機臺的電壓與電流數(shù)據(jù)傳送回中控中心。管理人員通過電力數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的分析，設定出上下限數(shù)值，作為機臺預知保養(yǎng)的參考指標。其架構圖如下:

交流電量測架構圖

直流電量測架構圖

結語

客戶通過泓格客制化的電流測量解決方案，達到設備預知保養(yǎng)與檢修的目的，不僅能協(xié)助現(xiàn)場人員實時掌握需維護的設備，減輕人員的負擔及人力成本，更能提升整體設備效率。

泓格在復雜的工業(yè)環(huán)境中，簡化機臺通訊問題，協(xié)助客戶建置機臺聯(lián)網(wǎng)、稼動率及OEE的提升、設備預防保養(yǎng)及預兆診斷、進而邁向智能工廠及數(shù)字轉(zhuǎn)型。隨著節(jié)能減碳的觀念逐漸被重視，泓格也將繼續(xù)協(xié)助客戶，往ESG永續(xù)經(jīng)營的目標邁進。