成功案例 ｜首臺15天交付！格創(chuàng)東智Stocker助力頭部12吋晶圓廠自動化物料存儲

國內(nèi)頭部半導體存儲器制造商，專業(yè)從事集成電路內(nèi)存芯片的設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前12英寸晶圓廠已建成投產(chǎn)。其在國內(nèi)外擁有多個研發(fā)中心和分支機構(gòu)，已推出多款不同類型的內(nèi)存芯片，滿足多種應(yīng)用需求。

隨著市場行情的回暖和外部需求的增長，公司產(chǎn)能逐漸提升，現(xiàn)有Stocker晶圓存儲立庫（以下簡稱Stocker）的存儲量無法滿足需求，急需擴充FOUP的存儲。

同時由于客戶工藝流程復(fù)雜、生產(chǎn)過程離散，會使得某些機臺在某一段時間內(nèi)，積累的晶圓比較多，如果是依賴人力搬運，難免出現(xiàn)調(diào)度、轉(zhuǎn)運不及時的情況，從而造成瓶頸機臺的擁塞以及部分機臺運行不飽和。

眾所周知，從早期的6英寸晶圓廠，到如今的8英寸、12英寸廠成為主流，半導體制造工藝越來越先進，產(chǎn)線中的工序成倍增長，關(guān)鍵機臺的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加，傳統(tǒng)人力在產(chǎn)線設(shè)備間的物料搬運，成為制約生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量的瓶頸。也因此，AMHS從8英寸廠開始顯露頭角，在12英寸廠中成為標配。

AMHS主要由OHT空中搬運小車、Stocker晶圓存儲立庫、MCS/OHTC/STKC軟件系統(tǒng)等組成。其中Stocker作為AMHS的重要構(gòu)成，用于潔凈室內(nèi)半導體生產(chǎn)工序及工序之間晶圓載具的存儲，可與上位系統(tǒng)進行通訊，實現(xiàn)帳料自動管理。為客戶生產(chǎn)現(xiàn)場減少物料搬運擁堵情況，降低傳送周期，管理復(fù)雜的批次操作，實現(xiàn)物料高效搬運。同時確保機臺排產(chǎn)充足，為工廠實現(xiàn)Fully Auto提供重要支持。

根據(jù)無塵室可利用空間，格創(chuàng)東智靈活定制各類型Stocker，實現(xiàn)空間最大化。

Stocker設(shè)備打包完畢、發(fā)往客戶工廠

通過導入格創(chuàng)東智Stocker，自動化存儲、提取和傳送各種規(guī)格的晶圓料盒，該頭部12吋晶圓廠實現(xiàn)了高效自動化物料存儲擴產(chǎn)的需求。

1、自動物料搬運存儲

Stocker專為潔凈車間設(shè)計，與OHT等自動化設(shè)備的協(xié)同作業(yè)構(gòu)建起高效的自動物料搬運存儲系統(tǒng)AMHS，根據(jù)生產(chǎn)計劃和需求來優(yōu)化物料流動。

2、降低人力&提高效率

作為無塵車間內(nèi)的臨時存儲庫，Stocker可平衡設(shè)備及工藝間產(chǎn)能的差異，最大程度縮短晶圓在工藝設(shè)備間的流轉(zhuǎn)時間，提高設(shè)備利用率；Stocker控制系統(tǒng)可自動向MCS系統(tǒng)更新對應(yīng)物料的位置信息，實現(xiàn)物料的統(tǒng)一管理，提高工作效率的同時減少人員工作強度。

3、提高產(chǎn)品質(zhì)量

Stocker內(nèi)部可達到較高的潔凈度，能夠滿足物料存儲對潔凈度的要求，同時庫存和物料流動的實時追蹤有助于快速定位和解決潛在問題，進而提升產(chǎn)品質(zhì)量、實現(xiàn)制造過程的可追溯性。

4、提高空間利用率

Stocker能夠充分利用潔凈車間的閑置面積及垂直空間，在相同占地面積中提高倉儲容量，從而提高空間利用率。

與常規(guī)交付相比，此次項目的工期非常緊，格創(chuàng)東智臨危受命，緊急協(xié)調(diào)各種資源，組建專業(yè)項目團隊，與客戶緊密溝通，快速實現(xiàn)Stocker的調(diào)試/交付（第一臺Stocker從客戶PO下發(fā)到現(xiàn)場交付僅僅15天，這個效率在業(yè)界是絕無僅有的），非常及時、高效地支撐了客戶產(chǎn)能的提升，并取得了客戶的高度認可。