案例直擊 | 半導(dǎo)體廢氣治理系統(tǒng)的安全管家

半導(dǎo)體是電子產(chǎn)品不可或缺的材料，在生產(chǎn)過程中會持續(xù)產(chǎn)生各種工藝廢氣，包括酸性、堿性、含氟廢氣及有毒廢氣等。廢氣治理作為半導(dǎo)體生產(chǎn)必要環(huán)節(jié)，能直接影響客戶的產(chǎn)能利用率、產(chǎn)品良率，如未經(jīng)處理直接排放會影響周圍環(huán)境，同時對人體的危害也是極為嚴重。

因此，廢氣治理系統(tǒng)的安全問題更加不容忽視，對預(yù)防安全事故的安全設(shè)備更有著迫切的需求。

客戶背景 

此次項目客戶是一家提供工藝廢氣治理系統(tǒng)解決方案的國內(nèi)領(lǐng)軍公司，專注于泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理系統(tǒng)及關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)設(shè)計、加工制造及系統(tǒng)集成，為用戶定制化提供安全穩(wěn)定的治理解決方案。

工業(yè)廢氣處理系統(tǒng)大多需要工廠巡檢員例行檢查來確保其運行狀態(tài)穩(wěn)定，但對于需要大量檢查站點的工廠巡檢員來說，頻繁出入生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)是非常危險的。若當人員處于危險情況時不能確保信號的傳輸、及時按下急停，常常會產(chǎn)生難以估量的損失甚至造成人員的傷亡！所以，在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的安全繼電器至關(guān)重要！

客戶需求 

● 當意外情況出現(xiàn)時，通過對監(jiān)控急停按鈕，避免和減少事故的擴大；

● 安全防護裝置提高安全性能，更加可靠地運行設(shè)備；

● 安全性能等級高，且 PLr≥d 。

解決方案 

此次項目采用了町洋 RESR-01-3A1B 安全繼電器，將產(chǎn)品應(yīng)用于安全控制回路中，對半導(dǎo)體工藝廢氣設(shè)備的故障緊急處理，信號迅速傳遞給運動控制器并安全有效地停止設(shè)備運行，保護人員和設(shè)備的安全。

RESR 系列安全繼電器危險失效概率小于億分之一，安全系數(shù)高的同時能夠確保危險氣體泄漏時緊急控制，為用戶提供最佳的急停防護。除此之外，雙通道的設(shè)計提高了設(shè)備的安全等級和急停操作的可靠性，復(fù)位檢測功能能夠?qū)崟r進行通道間短路監(jiān)控，確保設(shè)備不會意外被啟動。

另一方面，在安全性上它絕對是行業(yè)的佼佼者！全系列通過了德國萊茵 TüV 認證，同時還滿足 PLe / Cat.4 / SIL3 最高工業(yè)防護等級，滿足工業(yè)場合極高危險性的設(shè)備使用，達到絕佳的防護水平。

町洋安全繼電器在半導(dǎo)體廢氣處理解決方案中，能充分滿足客戶提出的安全監(jiān)控、精準防護的作業(yè)需求，并在實際運行中以優(yōu)異表現(xiàn)獲得了客戶的認可。

在高科技產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的趨勢下，町洋也將依據(jù)客戶需求，為越來越多的行業(yè)量身定制解決方案，助力客戶在廣闊市場中大展身手。

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