TELEDYNE DALSA MEMS應(yīng)用-壓力傳感器
MEMS應(yīng)用
從手機(jī)的RF芯片,通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀,汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫(yī)療系統(tǒng)用的微流體器件,Teledyne DALSA都已經(jīng)量產(chǎn),并且為這些創(chuàng)新的MEMS應(yīng)用提高性能的同時(shí)降低尺寸和功耗。聯(lián)系我們,討論MEMS制造的挑戰(zhàn) Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.
MEMS應(yīng)用: 壓力傳感器 運(yùn)動(dòng)傳感器 BioMEMS 微鏡 硅通孔 射頻MEMS
壓力傳感器
>>汽車傳感器,麥克風(fēng)
壓力傳感器和麥克風(fēng)
Teledyne DALSA擁有超過10年制造MEMS壓力傳感器的經(jīng)驗(yàn),包括壓阻式和電容式兩種類型,應(yīng)用遍布各種各樣的汽車和工業(yè)領(lǐng)域。壓阻傳感器的關(guān)鍵技術(shù)是離子注入(惠斯登電橋),腔體的電化學(xué)蝕刻(KOH或TMAH)和用于密封所述腔體的和晶片直接鍵合。
在MEMS領(lǐng)域里, 硅麥克風(fēng)可能會(huì)被視為一種特殊形式的電容式壓力傳感器。在Teledyne DALSA,一個(gè)典型的麥克風(fēng)制程使用原位摻雜的多晶硅和低應(yīng)力氮化物以控制薄膜中應(yīng)力,并DRIE蝕刻形成空腔。
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