米銥改進(jìn)型ILD1800激光傳感器用于雙面覆銅板在線測(cè)厚

雙面覆銅板在線測(cè)厚，考慮到在線傳送時(shí)覆銅板上下竄動(dòng)帶來的測(cè)量誤差，應(yīng)在測(cè)厚點(diǎn)上下安裝兩個(gè)傳感器。如下示意圖


雙面覆銅板測(cè)厚早期用電容式傳感器。它的優(yōu)點(diǎn)是表面色斑，表面微觀溝槽不影響測(cè)量結(jié)果，其缺點(diǎn)是傳感器頭與被測(cè)面間隙很小，且受間隙中介質(zhì)變化而影響精度。對(duì)安裝調(diào)校的環(huán)境要求很高，使用受到限制。而最致命的缺點(diǎn)是電容式傳感器是面積效應(yīng)，它測(cè)的是大于面積5㎜處的平均厚度。這對(duì)精密到某一點(diǎn)的板厚測(cè)量是很大的缺陷。

于是激光位移傳感器受到重視，因?yàn)閭鞲衅靼惭b距離遠(yuǎn)，環(huán)境要求并不高，而且基本上是一個(gè)點(diǎn)的測(cè)厚。適于精密到某一點(diǎn)的板厚測(cè)量。問題是，一般慢反射激光傳感器對(duì)表面色斑的敏感，以及幾十個(gè)微米直徑的光斑對(duì)表面微觀溝槽敏感使板厚測(cè)量困難重重。
德國(guó)米銥針對(duì)上述問題，對(duì)ILD1800激光傳感器進(jìn)行實(shí)質(zhì)性的創(chuàng)性。其中用同期補(bǔ)光核心技術(shù)使色斑敏感降為零，以及改進(jìn)透視鏡使光斑直徑增大到300微米，抑制了微觀表面溝槽影響。加上原ILD1800可同步掃描功能，使同一測(cè)量上下兩個(gè)傳感器能同步掃描，完全避免覆銅板在線傳送時(shí)上下竄動(dòng)帶來的測(cè)量誤差，以及保證兩個(gè)傳感器同步測(cè)量覆銅板同一個(gè)點(diǎn)的厚度。

以下是臺(tái)灣景揚(yáng)公司應(yīng)用德國(guó)米銥測(cè)試技術(shù)公司改進(jìn)型ILD1800-2（100）激光傳感器成功案例：
PCB板厚儀技術(shù)指標(biāo):


下圖表是800個(gè)測(cè)點(diǎn)數(shù)據(jù)最大厚度誤差0.9微米記錄


PCB板厚儀外觀圖